0　　在多晶硅的制造中，還會(huì )繼續造成一定的廢氣和殘液，現階段大家的廢氣處理設備早已較為，對過(guò)去的處置技術(shù)性完成了改善，早已做到了較高的水準。

　　多晶硅是太陽(yáng)能發(fā)電和微電子技術(shù)行業(yè)的重要原料，伴隨著(zhù)中國太陽(yáng)能發(fā)電行業(yè)的迅速發(fā)展趨勢，多晶硅的需求也與日俱增?，F階段，多晶硅生產(chǎn)工藝活躍性。關(guān)鍵有西門(mén)子法、冶金工業(yè)法、低溫等離子法、氯硅烷法、循環(huán)流化床法、光熱發(fā)電電解食鹽水、無(wú)氯生產(chǎn)工藝等。西門(mén)子法是根據液相堆積的方法生產(chǎn)制造柱型多晶硅。為了更好地提升原材料利用率，在原根基上選用閉環(huán)控制式生產(chǎn)工藝流程即改進(jìn)西門(mén)子法。改進(jìn)西門(mén)子加工工藝制造的多晶硅生產(chǎn)能力約占全球總產(chǎn)量的80%。

　　世界各國對西門(mén)子法制取高純度多晶硅的分析較多。如張玉等選用催化反應有機化學(xué)液相堆積法制取多晶硅塑料薄膜;英國M.M.Dahl等分析了多晶硅在循環(huán)流化床中的宏觀(guān)構造和顆粒物生長(cháng)發(fā)育。除此之外，多晶硅的生產(chǎn)工藝也有碳熱還原法、地區冶煉法等。碳熱還原法是利用高純度碳復原二氧化硅制得多晶硅，地區冶煉法是利用金屬材料定項凝結基本原理將金屬材料級硅純化到、太陽(yáng)能發(fā)電級硅的。

　　廢氣和殘液的解決

　　在多晶硅制取中有大批量的廢氣和廢水造成，中國大多數企業(yè)一般先用水清洗水解反應，隨后根據NaOH中合廢氣解決和殘液解決工藝流程。

　　廢氣凈化處理

　　氯硅烷分離出來(lái)純化工藝流程各精餾裝置頂排出的含氯硅烷、N2的廢氣，及含氯硅烷、氡氣、N2、氯化氫的多晶硅還原爐換置吹掃氣和多晶硅還原爐安全事故排出氣等，被送入廢氣凈化塔組，自來(lái)水(鹽酸溶液)清洗，廢氣中的氯硅烷與水產(chǎn)生下列反映而被去除：

　　SiHCl3 2H2O=SiO2 3HCl H2

　　SiCl4 2H2O=SiO2 4HCl

　　SiH2Cl2 2H2O=SiO2 2HCl H2

　　出尾氣處理塔上帶有氮氣和氫氣的廢氣經(jīng)液封罐放空自己，出尾氣處理塔塔底帶有SiO2固態(tài)的鹽酸溶液用泵送進(jìn)加工工藝廢料處理工藝流程。

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